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光纤激光器 半导体激光器 激光切割
工业应用
利用皮秒激光脉冲串提高硅晶圆材料的去除率和加工质量
材料来源:lfwc           录入时间:2018/2/1 16:32:06

/Newport

 

硅加工在集成电路 (IC) 后端处理、微电子封装和太阳能制造等各个行业中,都发挥着至关重要的作用。多年以来,随着晶圆厚度不断缩小,使用机械工具加工较薄的脆性材料面临着严峻的挑战,因此机械加工正在日益被激光加工技术所取代。各种纳秒脉冲激光器技术已经在薄脆性材料加工中得到广泛应用,常用的激光器包括准分子激光器、二极管泵浦固态DPSS)激光器和光纤激光器。超短脉冲激光加工技术,正越来越被视为未来可进一步提升加工质量和加工速度的技术。

 

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http://www.laserfocusworld.cn/PDF/2018/0102/Applications2.pdf


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