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工业应用
DUV激光:深紫外激光微加工技术的发展
材料来源:lfwc           录入时间:2017/5/11 10:46:04

 

/Yuji ImamiyaSatoru AkamaYoshihito FujitaHaruhiko Niitani三菱重工

 

 

近年来,随着电子产品越来越小,包括电子部件和印刷电路板在内的这类装置中使用的各种部件,也已经小型化并且越来越复杂。因此,对包括钻孔在内的超精密加工的进一步小型化和提高质量的需求,正不断增长。作为满足这种需求的一种手段,利用短脉冲、短波长激光的加工方法已经引起关注。使用诸如皮秒脉冲激光的短脉冲激光器,能够实现没有热效应的冷烧蚀,从而获得质量优异的高精度加工。

 

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http://www.laserfocusworld.cn/PDF/2017/0304/Applications.pdf


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